AOI检测机

星准系列AOI检测机是利用光学原理检测芯片缺陷的高速高精度全自动视觉检测设备,主要应用于芯片封装的研发与制造。针对BGA, LGA, QFN, QFP等多种封装芯片,提供全面的6-side检测和2D/3D量测。

高精度
高Throughput
高适配性
易用性
星准TV6-10T-TC
TV6-10T-TC型AOI检测机主要应用FCBGA,Memory,POP等高端制程,具备高精度微裂纹及TOP 3D检测功能模块,为先进封装客户出厂品质提供保障。
技术参数
  • 5μm
    3D检测精度
  • 3x3mm-58x58mm
    芯片尺寸
  • BGA/POP/Memory
    检测芯片封装形式

超高精度3D检量测

精度和重复性可达5μm

全面的检测功能
6-sides,Top 2D/3D,Bottom 2D/3D,Micro Crack,被动元件检测

模块化配置

搭载Top 3D及高精度微裂纹模组




智能缺陷分类功能

智能缺陷分类算法引擎
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