高速高精度固晶机

星驰系列固晶机是面向多芯片封装的高速高精度设备,贴片精度可达±7μm@3σ。采用开放式架构和模块化设计,可提供极致效率的按需定制能力,最大可兼容12寸晶圆,满足固晶,SiP,UV固化等封装工艺。

高精度
高灵活
多功能
模块化
DU9721
DU9721固晶贴片机可通过自研的运动控制技术,贴片精度可达±7μm@3σ。设备通过集成点胶、自动换刀、贴合等功能,兼容多尺寸晶圆。开放式架构和模块化设计,可为客户提供极致效率的按需定制能力。
技术参数
  • ±7μm@3σ
    贴片精度
  • 20~500g (programmable)
    贴合压力
  • ± 0.2° @ 3σ
    角度精度

模块化

兼容不同品类的开发需求

可根据客户需求柔性定制

高灵活

支持多种供料形式

支持Die attach,UV固化,SiP封装工艺

多功能

兼容固晶、倒装、多芯片封装

高精度

满足微米级贴片精度,可实现极致贴片效率

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