去胶清洗机-WZ821

WZ821 清洗机主要用于 4 寸、6 寸、8 寸、12 寸硅片去胶清洗。

产品特点


设备参数


产品型号
WZ821

硅片尺寸

6 寸(双 cassette

设备尺寸

W2500*D1400*H2300

工艺流程

ACT → NMP → QDR → IPA

工艺效果

去胶率≥99%

UPH

>50pcs

每个 Tank 最大处理量

25sheet/1cassette,2cassette/tank

金属离子检测

<50ppb

温升时间

<20 分钟(从室温加热到 95℃)